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CVI-1700系统
关 键 词:CVI系统、化学气相沉积、扩散试验
CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉,HQZ-Ⅳ混气系统,真空压强控制系统,尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵,真空度可达到7.5x10-1Torr;可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。
型       号:CVI-1700
品       牌:钜晶
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CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉,HQZ-Ⅳ混气系统,真空压强控制系统,尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵,真空度可达到7.5x10-1Torr;可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要技术参数:

SGL-1700L

真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用优质U型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命

机器电源

AC220V50/60Hz;额定功率6KW

炉管

采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

尺寸:Φ80*/1000mm

刚玉支撑架,有效保证料件处于温区中心

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:4U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

工作温度:≤1600

升温速率:≤10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1

超温、断偶故障警报及断电保护

HQZ-

混气系统

高精度质量流量计通过数据接口连接电脑,配置软件实时人机交互界面

四通道质量流量控制,可同时通入四种不同气体

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格:0~30SLM

控制精度:±1.0F.S

真空系统

采用德国LABOPORT小型抗腐蚀隔膜真空泵,可用于腐蚀性气体和蒸汽介质

真空度可达7.5x10-1 Torr

可长时间连续工作,无须担心泵因过热保护而中止实验

可选配真空表,实现对真空及压力的调节控制

配置气体尾气处理系统

冷凝系统

采用低温恒温槽,最低温度可达-20

内置不锈钢真空冷凝灌,采用KF接头,清理收集方便

槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验


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