深耕高温技术,成就材料新突破
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30Kg一氧化硅负极材料气相反应设备(1500℃)
30Kg一氧化硅负极材料气相反应设备(1500℃)
关 键 词:一氧化硅,二氧化硅,气相反应,气相沉积,负极材料

型       号:2201801
品       牌:上海钜晶
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一、应用行业工艺信息

1、主要信息:

工艺名称

气相沉积法制备一氧化硅

应用行业

新能源电池

工艺目的

一氧化硅

材料(零件)名称

硅粉末和氧化硅粉末

工艺最高温度

1350度

材料(零件)尺寸


工艺极限真空

100pa

溶液(堆积)密度


工艺气体

氮气

一次性处理量

30kg

挥发物

一氧化硅

取放料方式

坩埚

集中排放



关注重点和注意事项





 

 


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