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CVD-1700浮子混气系统
关 键 词:高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验、材料制备、纳米线生长、材料烧结
CVD-1700系统由SGL-1700真空管式炉,HQF-Ⅲ浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。此系统烧结温度可达1700℃;真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Pa;可实现不同的1~3路气体混合;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。
型       号:CVD-1700
品       牌:钜晶
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CVD-1700系统由SGL-1700真空管式炉,HQF-Ⅲ浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。此系统烧结温度可达1700℃;真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1Pa;可实现不同的1~3路气体混合;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。

主要功能和特点:

1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,最高真空可达0.0001Pa

2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制;

3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用世界顶级Swagelok卡套连接,不漏气;

5、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。

主要用途:

高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验,特别适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所。

主要技术参数:

SGL-1700真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

加热元件采用进口优质U型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命

电压

AC220V      50/60Hz

功率

6KW

炉管

采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂

尺寸:Φ40/60/80*/1000mm

4个氧化铝管堵

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件:6U型硅钼棒

加热区长度:280mm

恒温区长度:100mm

工作温度:≤1600

最高温度:1650

升温速率:≤10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件:B型双铂铑热电偶

恒温精度:±1

HQF-Ⅲ混气系统

三路浮子流量计配置在移动工作台上,可以同时通入三路不同的气体

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用聚四氟乙烯软管,耐温耐腐

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格:0.3~3L/min

控制精度:±5%

低真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达5x10-1 Torr

不锈钢充油真空压力表,良好的抗震性

内置测温系统

测温元件可从加热区边缘延伸至温区中心

法兰密封,保证炉管的密封性

测温元件:B型双铂铑热电偶

尺寸

高温炉:660*580*910mm

混气移动工作台:800*540*720mm

可选配件

HQZ混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。


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