主要功能和特点：

名称 双通道区域熔炼炉

型号 SZRL-1200

材料 高纯石墨坩埚，提纯锗材料，黑灰色

设备形式 卧式滑动式结构，两端法兰进出取放料；

加热方式 感应电源+线圈+石墨坩埚

设计温度 1200℃

使用温度 ≥1150℃

极限真空(配置) 采用2套高真空系统；独立分别抽真空；

高真空系统1:真空度：6.67*10-3Pa;(冷态、净化、空载);

高真空系统2:真空度：6.67*10-3Pa;(冷态、净化、空载);

限于石英管80mm(机械泵+分子泵机组+复合真空计+阀门组合等);

工艺气体(配置) 工艺气体1:氢气、氩气、氢氩混合气这三路气源配1只混气罐混好后通入管内；

工艺气体2:氢气、氩气、氢氩混合气这三路气源配1只混气罐混好后通入管内； 单独的管道氮气到设备连接需要转接成2路，可分别通入2根独立的管内；

(工艺气体1和2气体均采用质量流量计控制，氮气气体采用浮子流量计控制)

区熔移动速率 0.1~100mm/h可控可调(伺服电机)

快速移动速率 10-200mm/min可控可调(伺服电机)

移动行程 总长600mm;

加热区 50mm;

炉管 高纯石英管，外径80mm*壁厚4mm*管长1200mm;高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系 数极小

炉体结构 双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；

炉子底部装有一对滑轨，采用伺服电机控制线圈和红外热电偶可自由滑动；

感应线圈 感应线圈+石英管，供参考；线圈匝数以设计为准；炉体 内部设有一只单匝(线圈匝数以设计为准)感应线圈，给石英管内石墨坩埚感应加热，至

样品进行加热融化，当线圈中通以中频交流电流时，则产生交变磁场，石墨炉料在交变磁 场作用下，相对切割磁感线，感应出电势，产生环形电流。

a.进电装置：进电装置主要包括进电母线和进电电极，进电母线采用水冷式结构，材料为T2 紫铜，进电电极是连接炉体内外部的电极，它具有导电通水的双重任务。电能和冷却水通 过进电母线、进电电极传输给感应器，进电电极与炉体之间需绝缘且密封。

B.感应线圈：感应烧结炉的感应器是用铜管制成的。感应器内部通水，由进电电极和进电 母线传输。感应器表面经过喷塑处理，感应器全封闭处理，防止真空放电。感应器和进出 电极之间的连接采用法兰连接拆卸方便，既保证良好的导电性又能保证可靠的真空密封。

法兰及支撑 SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“0”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑；包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合；    动卡随快速密封

工艺气体功能描 述 工艺气体：氢气、氩气、氢氩混合气；氮气(工作时微正压<0.03Mpa下使用)

2套工艺气体配置6路配置质量气体流量计，流量数字显示、气体流量自动控制；每路气 体管路均配有逆止阀；每路气体进气管路配有不锈钢针阀；通过控制面板上的旋钮来调节 气体流量；接口为Φ6卡套；流量规格：0~200sccm(范围量程待定)流量精度：±1.5%; 纯氢气配置探测器+自动点火装置，如下介绍

氢气探测器点火装置(氢气实验只限石英管使用)

氢气探测器功能：

左端进气口采用电磁阀与针阀做双重保护，配备氢气探测器监测实验环境的安全性； 右端出气口的气体点燃系统采用一键按钮自动点燃，操作方便安全；

氢气探测器将被测空气中的氢气浓度按照正比关系转换成4^20mA的标准电流信号进行变 送，在通过配套的控制器显示、报警及控制输出；

氢气检测探头具有性能稳定，电源范围宽，灵敏可靠，使用寿命长等优点；

配有压力传感器+电磁阀；自动控制炉内压力超压自动泄压；

安全监测 压力传感器(微正压：建议0.03mpa以下使用)配合三色灯带声光报警装置；

红外测温系统 测温元件从室温升至样品温度采用红外测温仪，红外测温仪可实时追踪样品温度； 2根炉管分别：低温管：200~700℃,高温管100~1100℃(后续可在商议温度范围)

真空系统 高真空系统主要由1台机械泵和1台中科科仪分子泵组成(噪音小，无返油，洁净度高), 组成高真空系统组成。

其它辅件有高真空挡板阀(主阀、粗抽阀、前级阀)、不锈钢波纹管、放气电磁阀及真空管 路等。为减少炉体振动，真空管道与泵组的连接采用金属波纹管，低真空由电阻真空计测量，高真空由电离真空计测量。

冷却系统 系统配置内循环冷却系统是在炉内充入适当热传导介质的惰性气体，进行循环冷却， 实现炉内快速降温。

电气控制系统 独立电控柜：液晶触摸屏显示，以实现数据的存储、输出，可通过U盘复制到计算机   上，曲线实时显示屏；让程序设置更快捷，设备运行状态更直观，设定数据和操作都是图文 界面，操作方便；针对数据的存储、输出，可通过USB接口复制数据到计算机上长期保存， 可以预设多条加热曲线，并可远程监控。控温精度±1℃。专家模块和控制算法相结合，实 现精密控温，有效抑制温度过冲。超温报警系统具有切断主回路、声光报警和自动恢复解  除功能。

a.电源控制：具有手动和自动两种控制方式，手动和自动都可以在触摸电脑上控制， 操作方便、系统稳定，具有误操作提示报警功能；

b.温控系统：全自动PLC+平板触摸电脑控制，可以手动自动切换，采用红外测温仪+控温仪 表控制电源的输出从而控制模具的温度，触摸电脑自动记录烧结过程及历史曲线。配备PLC 控制器，具有PID及超温报警功能，能储存和输出记录，清晰反应炉子工作状况；

c.控制系统软件：由我公司自行开发，人机界面操作系统，画面友好，操作简单，相应速 度快，可对炉内工况进行实时监测，系统稳定可靠；

单温区区熔炉、仅供参考、本方案以最终设计为准

工作电源380V/50Hz;每个电源初步40kw来做，以实际设计为准