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11月16日,江苏达安光电有限公司对我司生产的RTP-1100快速退火炉验收完毕。


来源:上海钜晶精密仪器制造有限公司  作者:siomm  时间:2017-11-16

我司设计生产的RTP-1100快速退火炉采用进口红外线加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。炉管内尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成生产工艺的同时,也大大降低了间接污染试样的可能性;密封法兰之间采用O型圈密封,以及卡箍快速链接,能有效地保证炉内气密性;当炉管移出炉膛时冷确风扇启动,可实现试样的迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验要求;它主要适用于半导体器件研发及生产等领域,可满足离子注入后的快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火,氧化物生长以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。

设备的性能符合客户的使用要求,我们的售后工程师于11月16日上门安装调试培训完毕,设备顺利通过江苏达安光电有限公司的验收。

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