产品优点： 1. 涡轮分子泵和前级泵的完美结合；适合多种应用需求； 2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修； 4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统；“即插即用”-无需布线和安装； 5. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响； 6. 可以直接连接真空计。 | ||||||||
应用领域： 1、研发 2、加速器 3、分析和表面物理学 4、真空工艺 5、电子束焊接 6、检漏系统 | ||||||||
技术参数： | ||||||||
型号 | 连接法兰 | 抽速 l/s | 极限真空mbar | 前级泵抽速 m3/h | ||||
入口 | N2 | Xtradry 150 | Penta | Xtradry 150 | Penta 10 | Penta 20 | Penta 40 | |
Hicube80 | 40 | 35 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
