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质量混配气系统
关 键 词:质量混配气系统 混气柜
型       号:HQ-Z
品       牌:上海钜晶
发货周期:1-5个工作日
接受订制:可按要求定制
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混配气系统是由单路或多路质量流量计控制、混合连续供气,实现了气体的质量流量精密测量和控制;结合我司各种规格型号的管式炉、CVD系统及退火炉等对材料、气体流量的精确测量和控制,应用性强;具有混气均匀,控制精度高,数显直观,操作灵敏等优点。

主要功能和特点:

1、质量流量计、流量显示仪分体式连接,便于操作及使用;

2、控制精度高,响应快,极低的零漂及温漂,良好的兼容性;

3、系统配有混气罐,可单路或多路配合进气;

4、每条气体管路均配有安全截止阀,确保系统的安全可靠;

5、流量控制器的规格型号可根据要求定制;

6、采用世伟洛克卡套接头连接,保证良好的密封性;

7、整体式炉架结构,搭配性能强,可放置我司各种规格型号的管式炉等;

8、可通过软件支持人机交互界面,操作简单方便;

9、预留真空系统位置,可选不同真空系统,组合搭配方便快捷。

主要用途和适用范围:

用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。

注意:严禁氢气和氧气同时供气,保证安全

技术参数:

产品型号

HQ-Z(通过欧盟CE认证,证书编号:4635230915/4636230915

炉体结构

双层炉架结构,预留真空系统,组合性强

控制方式

质量流量计配合流量显示仪

流量规格

0500SCCM/01SLM(可根据客户需要配置)

线性

±0.2%F.S.

准确度

±1.5%F.S.

重复精度

±1.5%F.S.

响应时间

8sec

耐压

3MPa

气路通道

多通道(根据客户需求)

混气罐

SUS316不锈钢,尺寸:Φ100*200mm

 

SUS316不锈钢卡套针阀

管 道

Φ6mm无缝钢管管

接 口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

设备:530*1200*850mm (深**高);净重   kg

标准配置

 主机1台,说明书、合格证、保修卡各1


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